| 发明名称 |
DEVICE FOR FORMING SUPERCONDUCTING THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0333003(A) |
申请公布日期 |
1991.02.13 |
| 申请号 |
JP19890163950 |
申请日期 |
1989.06.28 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KANEBORI KEIICHI;SUGII NOBUYUKI;MIYAUCHI KATSUMI |
| 分类号 |
C01B13/20;C01G1/00;C23C16/40;C23C16/50;H01B13/00;H01L39/24 |
主分类号 |
C01B13/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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