发明名称 DIELECTRIC FORMATION PROCESS AND DEVICES PRODUCED THEREBY
摘要
申请公布号 EP0405850(A3) 申请公布日期 1991.03.13
申请号 EP19900306835 申请日期 1990.06.22
申请人 AMERICAN TELEPHONE AND TELEGRAPH COMPANY 发明人 HARRUS, ALAIN SIMON;HILLS, GRAHAM WILLIAM;THOMA, MORGAN JONES
分类号 H01L21/316;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/31;H01L21/312;H01L21/90 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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