| 发明名称 |
WERKWIJZE VOOR HET VERVAARDIGEN VAN EEN HALFGELEIDERINRICHTING, OMVATTENDE HET VORMEN VAN EEN PATROON IN SILICIUM DOOR PLASMA-ETSEN. |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
NL189325(C) |
申请公布日期 |
1993.03.01 |
| 申请号 |
NL19790005866 |
申请日期 |
1979.07.30 |
| 申请人 |
WESTERN ELECTRIC COMPANY, INCORPORATED TE NEW YORK, NEW YORK, VER. ST. V. AM. |
发明人 |
|
| 分类号 |
H01L21/302;C23F4/00;H01L21/3065;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/308 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
