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发明名称 LOW-ENERGY ION GUN
摘要
申请公布号 JPH0660837(A) 申请公布日期 1994.03.04
申请号 JP19920229431 申请日期 1992.08.06
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 KONISHI MASASHI;ONODA MASATOSHI
分类号 H01J37/08;H01J37/16;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/08 主分类号 H01J37/08
代理机构 代理人
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