发明名称 CRYSTAL GROWTH METHOD
摘要
申请公布号 JPH0855798(A) 申请公布日期 1996.02.27
申请号 JP19940189238 申请日期 1994.08.11
申请人 HITACHI LTD 发明人 MOMOSE MASAYUKI;KAWADA MASAHIKO;OYA AKIRA
分类号 H01L21/203;H01S5/00;(IPC1-7):H01L21/203;H01S3/18 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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