发明名称 IC CHARACTERISTIC MEASURING UNIT
摘要
申请公布号 JPH0855664(A) 申请公布日期 1996.02.27
申请号 JP19940214283 申请日期 1994.08.15
申请人 SONY CORP 发明人 IKEDA SHIGEO
分类号 G01R31/26;H01L21/66;H01L23/32;H01R33/76;H01R33/94;(IPC1-7):H01R33/76 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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