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发明名称
摘要
申请公布号 JP2541851(B2) 申请公布日期 1996.10.09
申请号 JP19890056053 申请日期 1989.03.10
申请人 FUJITSU LTD 发明人 FUJIMURA SHUZO;HIZUYA KENICHI
分类号 H01L21/302;G03F7/42;H01L21/027;H01L21/3065;H01L21/311;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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