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发明名称
摘要
申请公布号
JP2561281(B2)
申请公布日期
1996.12.04
申请号
JP19870162582
申请日期
1987.06.30
申请人
CANON KK
发明人
HATANAKA KATSUNORI
分类号
H01L27/146;H01L27/14;(IPC1-7):H01L27/146
主分类号
H01L27/146
代理机构
代理人
主权项
地址
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