| 摘要 |
<p>Die Erfindung schafft ein mikromechanisches Bauelement mit einem Substrat (1); einer beweglischen Sensorstruktur (6) in einer über dem Substrat liegenden ersten mikromechanischen Funktionsschicht (5); einer ersten Verschlussschicht (8) auf der ersten mikromechanischen Funktionsschicht (5), die zumindest teilweise strukturiert ist; einer zweiten mikromechanischen Funktionsschicht (10) auf der ersten Verschlussschicht (8), welche zumindest eine Abdeckfunktion aufweist und zumindest teilweise in der ersten mikromechanischen Funktionsschicht (5) verankert ist; und einer zweiten Verschlussschicht (8) auf der zweiten mikromechanischen Funktionsschicht (10). Die Sensorstruktur (6) ist mit Gräben (7) versehen, deren Breite nicht grösser ist als eine maximale Grabenbreite (66), welche durch die erste Verschlussschicht (8) in Form von Pfropfen (9) verschliessbar ist, welche die Grabenböden nicht erreichen.</p> |
