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发明名称 Thermal convection accelerometer with closed-loop heater control
摘要
申请公布号 AU3668702(A) 申请公布日期 2002.05.27
申请号 AU20020036687 申请日期 2001.10.24
申请人 MEMSIC, INC.;ANALOG DEVICES, INC. 发明人 YANG ZHAO;ADRIAN PAUL BROKAW;MICHAEL E. REBESCHINI;ALBERT M. LEUNG;GREGORY P. PUCCI;ALEXANDER DRIBINSKY
分类号 G01P9/00;G01C19/00;G01P15/00;G01P15/02;G01P15/08;G01P15/12 主分类号 G01P9/00
代理机构 代理人
主权项
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