| 主权项 |
1.一种电极卡匣,用于量测一电镀膜之一内应力,包 括: 一阴极支撑,用于一电镀液中支撑一阴极板,其中 该阴极板具有一电镀区域且背后连接有一应变规; 一阳极支撑,用于该电镀液中支撑一阳极板,以使 该阳极板以距离该阴极板一预定距离相对设置; 一遮覆板,设置于该阳极板与阴极板之间;以及 一阳极壳,环绕于该电镀液中该阳极板的周围和末 端,其中该遮覆板具有一穿透孔,且该穿透孔除面 对该电镀区域外,并具有一几何形状以一第一预定 参数相对于电镀区域之几何形状减小设置,且其中 一开口设置于该阳极壳上,且具有一几何形状以第 二预定参数相对于电镀区域之几何形状放大设置 。 2.如申请专利范围第1项所述之电极卡匣,更包括一 气泡供应装置,其中该气泡供应装置由该阴极支撑 向相反于该阴极板之一下部延伸,且由该下部注入 气泡。 3.一种用来量测电镀膜之内部应力的系统,该电镀 膜电镀于如申请专利范围1或2之该电极卡匣,包括: 一电镀桶,用于储存一电镀液,于其中该电极卡匣 支撑该阴极板,且该阳极板浸泡于该电镀液中; 一电源供应器,电性连接于该阴极板与该阳极板; 一量测装置,电性连接于接合于该阴极板的一应变 规,以及 一电脑,用于根据来自于该量测装置的结果、该阴 极板与该电镀膜的特性以计算出该电镀膜之该内 应力。 图式简单说明: 第1图系表示本发明用于量测电镀膜内应力之系统 的示意图; 第2图系表示装设有阴极板与阳极板之电极卡匣及 电镀桶之示意图; 第3图系表示电极卡匣之六个视角图; 第4A-4C图系分别表示由第3图中之上视图沿着A-A、B -B、C-C线之剖面图; 第5图系表示第4C图中沿着D-D线之示意图; 第6图系表示于阴极板电镀区域部分、遮覆板穿透 孔、以及阳极壳开口彼此间之几何关系图; 第7图系表示习知螺旋电镀应力计;以及 第8图系表示应用习知装置使用应变规于电镀桶中 量测电镀膜内应力之电压分布图。 |
