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发明名称 METHOD FOR TESTING A SLURRY USED TO FORM A SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 EP1943320(A1) 申请公布日期 2008.07.16
申请号 EP20050824088 申请日期 2005.10.25
申请人 FREESCALE SEMICONDUCTOR, INC. 发明人 MONNOYER, PHILIPPE;FARKAS, JANOS;SEBAAI, FARID
分类号 C09G1/00;G01N15/04;H01L21/30 主分类号 C09G1/00
代理机构 代理人
主权项
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