一种太阳能电池绒面的制备方法

摘要

本发明公开一种太阳能电池绒面的制备方法，属于太阳能电池技术领域，包括以下步骤，1)预清洗：将太阳能电池硅片进行预清洗，去除表面损伤层；2)涂覆：在清洗后硅片表面涂覆感光胶；3)曝光：对涂覆感光胶的太阳能硅片表面进行曝光；4)显影：曝光后的硅片经前烘干，然后用显影液显影，最后经后烘干；5)等离子刻蚀：对显影后的硅片进行等离子刻蚀；6)清洗：将刻蚀后硅片，在双氧水、硫酸按照1:2-1:6的体积比组合的溶液中进行清洗。本发明的制备方法可很好的控制金字塔形绒面的大小、形状及排列方式，达到降低反射率的效果，制得的太阳能电池片的反射率可达到1％以下。

主权项

一种太阳能电池绒面的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：1)预清洗：将太阳能电池硅片进行预清洗，去除表面损伤层；2)涂覆：在清洗后硅片表面涂覆感光胶；3)曝光：对涂覆感光胶的太阳能硅片表面进行曝光；4)显影：曝光后的硅片经前烘干，然后用显影液显影，最后经后烘干；5)等离子刻蚀：对显影后的硅片进行等离子刻蚀；6)清洗：将刻蚀后硅片，在双氧水与硫酸按照1:2～1:6混合的溶液中进行清洗。