改良型の熱補償形表面弾性波デバイスおよび製造方法

摘要

本発明は、圧電構造（２００）を設ける工程（ａ）と、誘電体構造を設ける工程（ｂ）であって、誘電体構造（２２０、２２１）を、金属被覆する（Ｓ２２）工程（ｂ１）を含む工程（ｂ）とを含む表面弾性波デバイス（２０）の製造方法に関し、その方法は、金属が被覆された誘電体構造（２３１）を圧電構造（２００）に結合（Ｓ２４）する工程（ｃ）をさらに含む。