PULLING UP DEVICE FOR SINGLE CRYSTAL,申请号JP19880152927-传众专利搜索

发明名称	PULLING UP DEVICE FOR SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号	JPH01320288(A)	申请公布日期	1989.12.26
申请号	JP19880152927	申请日期	1988.06.20
申请人	SUMITOMO ELECTRIC IND LTD	发明人	ARAKI TAKASHI;TATSUMI MASAMI
分类号	C30B15/22;H01L21/208	主分类号	C30B15/22
代理机构		代理人
主权项
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