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经营范围
发明名称
THERMAL TREATMENT APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH02218117(A)
申请公布日期
1990.08.30
申请号
JP19890037934
申请日期
1989.02.17
申请人
TEL SAGAMI LTD
发明人
IBARAKI KOICHI
分类号
H01L21/205;H01L21/22;H01L21/31
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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