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发明名称
Light-sensitive resin composition.
摘要
申请公布号
EP0307951(B1)
申请公布日期
1994.03.02
申请号
EP19880115250
申请日期
1988.09.16
申请人
FUJI PHOTO FILM CO., LTD.
发明人
SAKAGUCHI, SHINJI;TAN, SHIRO
分类号
G03C1/72;G03F7/022;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/022
主分类号
G03C1/72
代理机构
代理人
主权项
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