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发明名称 Method and apparatus for vapour deposition of material onto a substrate.
摘要
申请公布号 EP0422355(B1) 申请公布日期 1994.02.16
申请号 EP19900115301 申请日期 1990.08.09
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 GREER, STUART EUGENE;MILLHAM, ERIC ERNEST;WIRSING, ADOLF ERNEST
分类号 C23C14/24;(IPC1-7):C23C14/24;C23C14/14;C23C14/04 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
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