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发明名称 CRYSTAL PULLING-UP DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08259369(A) 申请公布日期 1996.10.08
申请号 JP19950091434 申请日期 1995.03.24
申请人 RES DEV CORP OF JAPAN;TAKASUKA EIRYO;IKARI ATSUSHI;SENSAI KOUJI;KAWANISHI SHOROKU;SOGO SHINJI 发明人 TAKASUKA EIRYO;IKARI ATSUSHI;SENSAI KOUJI;KAWANISHI SHOROKU;SOGO SHINJI;KIMURA SHIGEYUKI
分类号 C30B15/00;C30B29/06;C30B29/08;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/00 主分类号 C30B15/00
代理机构 代理人
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