OPTICAL SENSOR FOR FINDING THE ANGLE OF ROTATION OF A ROTARY AXIS

摘要

Die Erfindung betrifft einen optischen Drehwinkelsensor (50) mit einer optischen Strahlungsquelle (6), einer strukturierten Scheibe (10) und einem ortsauflösenden optoelektronischen Detektor (7). Zur Strahlungsführung werden optische Elemente (2a, 2b, 3a, 3b) monolithisch auf oder in einem Grundkörper (1) integriert, wobei die Strahlung zur Wechselwirkung mit den Strukturen (11) der Scheibe (10) aus dem Grundkörper (1) herausgeführt wird. Durch die monolithische Integration der optischen Elemente (2a, 2b, 3a, 3b) kann der Drehwinkelsensor (50) miniaturisiert hergestellt werden, was sich günstig auf Herstellkosten, Gewicht, Platzbedarf, Stabilität und Fertigungszuverlässigkeit auswirkt. Die optischen Elemente (2a, 2b, 3a, 3b) können dabei reflektiver, refraktiver und diffraktiver Art sein, ebenso auch die Strukturen (11) der Scheibe (10). Die ebenfalls monolithisch integrierten Strukturen (11) liefern auf dem Detektor (7) ein vom Drehwinkel ( alpha ) der Scheibe (10) abhängiges Intensitätsmuster (21) und können bei geeigneter Auslegung die Genauigkeit der Drehwinkelmessung erhöhen.