PROJECTION ALIGNER AND ALIGNING METHOD,申请号JP19970251156-传众专利搜索

发明名称	PROJECTION ALIGNER AND ALIGNING METHOD
摘要
申请公布号	JPH10141915(A)	申请公布日期	1998.05.29
申请号	JP19970251156	申请日期	1997.09.16
申请人	NIKON CORP	发明人	NISHI TAKECHIKA
分类号	G01B11/00;G03F9/00;H01L21/027;(IPC1-7):G01B11/00	主分类号	G01B11/00
代理机构		代理人
主权项
地址