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发明名称 Submikrometrische Bildererzeugung
摘要
申请公布号 DE69226392(D1) 申请公布日期 1998.09.03
申请号 DE19926026392 申请日期 1992.03.13
申请人 AT & T CORP., NEW YORK, N.Y., US 发明人 WHITE, DONALD LAWRENCE, LAKE PARSIPPANY, NEW JERSEY 07054, US
分类号 G02B6/00;G02B6/13;G03F1/08;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03F1/14 主分类号 G02B6/00
代理机构 代理人
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