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发明名称 METHOD OF FORMING TUNGSTEN WITH RUGGED SURFACE AND FABRICATING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE THEREWITH
摘要
申请公布号 KR0166830(B1) 申请公布日期 1999.02.01
申请号 KR19950002494 申请日期 1995.02.10
申请人 LG SEMICONDUCTOR CO., LTD. 发明人 LEE, YONG-JONG;CHO, BOK-WON
分类号 H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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