SEMICONDUCTOR FORCE/TORQUE SENSOR

摘要

Ein Kraft-/Drehmomentsensor weist ein mit einer Kraft oder einem Drehmoment beaufschlagbares Halbleitergebiet (10) auf. Zwei Steuerelektroden (12, 14) sind auf einer ersten und einer zweiten Seite des Halbleitergebiets (10), die sich beabstandet voneinander gegenüberliegen, angeordnet, wobei zwischen den Steuerelektroden (12, 14) ein Strom (20) durch das Halbleitergebiet (10) erzeugbar ist. Zwei Sensorelektroden (16, 18) sind auf einer dritten und einer vierten Seite des Halbleitergebiets (10), die sich ebenfalls beabstandet voneinander gegenüberliegen, angeordnet. Eine auf das Halbleitergebiet (10) ausgeübte Kraft oder ein auf dasselbe ausgeübtes Drehmoment ist bei einem Stromfluss zwischen den Steuerelektroden (12, 14) durch das Abgreifen einer zwischen den Sensorelektroden (16, 18) vorliegenden Spannung erfassbar.