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发明名称
Slurry recycling apparatus and slurry recycling method for chemical-mechanical polishing technique
摘要
申请公布号
GB9920425(D0)
申请公布日期
1999.11.03
申请号
GB19990020425
申请日期
1999.08.27
申请人
NEC CORPORATION
发明人
分类号
B24B57/00;B24B37/00;B24B57/02
主分类号
B24B57/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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