玻璃基板之分光取像装置

摘要

本创作系关于一种玻璃基板之分光取像装置，系设有一载台，于载台顶部设有两排气浮式副载台，两排气浮式副载台之间设有一下光源，相应位于下光源上方设有一分光镜以及一位在分光镜上方并且垂直设置之CCD摄影机，另于CCD摄影机一侧设有一上光源，实施时，将玻璃基板载运至载台上，并且利用气浮式副载台所产生之向上气流及真空吸引，使得经过CCD摄影机该处之玻璃基板保持水平并且与CCD摄影机的距离趋近定值，而藉由上光源以及下光源所投射出之光线将会将玻璃基板上之影像向上投射而被摄影机撷取，以正确地进行分析。

主权项

1.一种玻璃基板之分光取像装置,其具有一承载玻 璃基板之载台,于载台上设有一横亘于载台两侧之 间光线向上投射之下光源,另相应于下光源上方位 置设有倾斜设置之分光镜,于分光镜上方位置设有 垂直之CCD摄影机,又于分光镜一侧设有一朝向分光 镜投射光线之上光源,上光源之光线投射于分光镜 时会形成朝下投射之反射光。 2.如申请专利范围第1项所述之玻璃基板之分光取 像装置,其中分光镜系呈45度角倾斜。 3.如申请专利范围第1或2项所述之玻璃基板之分光 取像装置,其中位于下光源两侧之载台顶面分别设 有一排气浮式副载台,该气浮式副载台顶部分布有 数个出气孔及吸气孔。 4.如申请专利范围第3项所述之玻璃基板之分光取 像装置,其中上光源之顶、底缘及异于分光镜该侧 均设有挡光板。 图式简单说明: 第一图系本创作之透视示意图。 第二图系本创作之配置示意图。 第三图系本创作之作业步骤示意图。 第四图系本创作CCD摄影机撷取影像时之简易示意 图。 第五图系现有玻璃基板之分光取像装置的透视示 意图。 第六图系现有玻璃基板之分光取像装置CCD摄影机 撷取影像时之简易示意图。