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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR COLLECTOR SWEEPING CONTROL OF AN ELECTRON BEAM
摘要
申请公布号 EP2150965(A1) 申请公布日期 2010.02.10
申请号 EP20070724883 申请日期 2007.05.04
申请人 MAX-PLANCK-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER WISSENSCHAFTEN E.V.;KARLSRUHER INSTITUT FUER TECHNOLOGIE 发明人 ERCKMANN, VOLKER;DAMMERTZ, GUENTER;SCHMID, MARTIN
分类号 H01J23/027;H01J23/033;H01J25/02 主分类号 H01J23/027
代理机构 代理人
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