| 摘要 |
본 발명은, 요철 패턴이 형성된 패턴 영역을 가지는 제1 면 및 상기 제1 면의 반대 측의 제2 면을 포함하는 몰드를 이용하여 상기 기판 상에 패턴을 전사하는 임프린트 장치를 제공하며, 상기 몰드는, 상기 요철 패턴 내의 볼록부의 표면과 상기 제2 면의 사이, 또는 상기 제2 면 상에 형성된 제1 패턴 군을 포함하고, 상기 장치는, 제2 패턴 군과, 상기 제1 패턴 군 및 상기 제2 패턴 군을 통과한 광에 의해 형성된 마크 군을 검출하도록 구성되는 검출 유닛과, 상기 검출 유닛에 의해 검출된 상기 마크 군으로부터, 상기 제1 패턴 군과 상기 제2 패턴 군 사이의 위치 어긋남을 산출하도록 구성되는 산출 유닛을 포함한다. |
