レーザチャンバ及び放電励起式ガスレーザ装置

摘要

レーザチャンバに用いられるタッチダウンベアリングのフッ素ガスによる腐食を抑制するとともに、タッチダウンベアリングの消耗を抑制する。一対の放電電極及びガス循環用のファンを収容したレーザチャンバであって、前記ファンの軸を非接触で支持可能な磁気軸受けと、該磁気軸受けの制御不能時に軸受けとして機能とするタッチダウンベアリングを備え、該タッチダウンベアリングの固体潤滑材として、Ａｕめっき層、Ｎｉ含有めっき層及びＣｕめっき層の少なくともいずれか１つが用いられてよい。