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发明名称 FUNCTION INSPECTING METHOD OF SEMICONDUCTOR ELEMENTS
摘要
申请公布号 JPS5328380(A) 申请公布日期 1978.03.16
申请号 JP19760096352 申请日期 1976.08.11
申请人 FUJITSU LTD 发明人 FURUKAWA YASUO;INAGAKI TAKESHI;GOTOU YOSHIAKI
分类号 H01L21/66;G01R31/302 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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