发明名称 VAPOR PHASE EPITAXIAL GROWTH PROCESS
摘要
申请公布号 JPS6131387(A) 申请公布日期 1986.02.13
申请号 JP19840152265 申请日期 1984.07.23
申请人 NEC CORP 发明人 KITAJIMA HIROSHI
分类号 C30B25/02;C30B19/00;H01L21/208 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
主权项
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