发明名称 PHOTOLITHOGRAPHIE.
摘要
申请公布号 AT35323(T) 申请公布日期 1988.07.15
申请号 AT19850304189T 申请日期 1985.06.12
申请人 PLASMON DATA SYSTEMS N.V. 发明人 GARDNER, KEITH;LONGMAN, ROBERT JAMES;PETTIGREW, ROBERT MARTIN
分类号 G02B5/18;G03H1/02;G11B7/26;(IPC1-7):G02B5/18;G03C1/84 主分类号 G02B5/18
代理机构 代理人
主权项
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