AUTOMATIC WET PROCESSOR FOR WAFER,申请号JP19880086517-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	AUTOMATIC WET PROCESSOR FOR WAFER
摘要
申请公布号	JPH01258429(A)	申请公布日期	1989.10.16
申请号	JP19880086517	申请日期	1988.04.08
申请人	NEC CORP	发明人	TSUNO CHIKA
分类号	H01L21/306;H01L21/304	主分类号	H01L21/306
代理机构		代理人
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