发明名称 HEAT-TREATMENT METHOD FOR PYROELECTRIC MATERIAL
摘要
申请公布号 JPH01319937(A) 申请公布日期 1989.12.26
申请号 JP19880153188 申请日期 1988.06.21
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 TOYODA SHINICHIRO;ISHIDA TOSHIMICHI
分类号 H01L21/302;H01L21/027;H01L21/3065;H01L35/34;H01L37/02;H03H3/08 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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