| 主权项 |
1.一种静压型无接触气体封闭器,其特征系具备有:一密封壳体,该密封壳体系具有:圆筒状的壳体内筒部,及以同心圆方式围绕壳体内筒部之圆形的壳体内周部,以及连结上述两部间之环状的壳体壁部;及一旋转密封环,该旋转密封环系固定于以同心圆方式贯通壳体内筒部的转轴;及一静止密封环,该静止密封环系于轴线方向上取预定间隔,经由并列的第一及第二O型环来使其外周部保持于壳体内周部,同时经由第三O型环来使其内周部保持于壳体内筒部,藉此而可在对向于旋转密封环的状态下,以能够移动于轴线方向之方式来保持于密封壳体,且令接触第二O型环的内周部之第二外周部分的直径小于接触第一O型环的内周部之第一外周部分的直径;及一弹簧,该弹簧系介装于静止密封环与壳体壁部之间,而供以使静止密封环朝旋转密封环的方向弹压;及一旋转侧密封端面及静止侧密封端面,该旋转侧密封端面及静止侧密封端面系分别形成于两密封环的对向端部,且其内外径相同;及一静压产生沟,该复数的静压产生沟系形成于静止密封环的密封端面(静止侧密封端面),且以能够与静止侧密封端面形成同心环状之方式予以并列;及一第一密闭空间,该第一密闭空间系属形成于壳体内周部与静止密封环的外周部之间的环状空间,且藉由第一及第二O型环来予以封闭;及一第二密闭空间,该第二密闭空间系属形成于壳体壁部与静止密封环的背面部之间的环状空间,且藉由第二及第三O型环来予以封闭;及一密封气体供给路,该一连的密封气体供给路系形成于密封壳体及静止密封环,供以将高压的密封气体(比两密封端面的外周侧之被密封流体领域的压力还要高)经由第一密闭空间来供应给静压产生沟;及一背压导入路,该背压导入路系供以连通被密封流体领域与第二密闭空间。2.如申请专利范围第1项所记载之静压型无接触气体封闭器,其中将形成于静止侧密封端面之静压产生沟的沟宽b对该密封端面之径方向宽度(密封面宽B)的沟宽比b/B设定为:0.05≦b/B≦0.3。3.如申请专利范围第2项所记载之静压型无接触气体封闭器,其中以沟宽b与密封面宽B间具有:B-b=B0+B1之关系为前题,来将从静压产生沟到静止侧密封端面的外周缘为止的径方向距离B0,或者是到该密封端面的内周缘为止的径方向距离B1设定为:0.3B≦B0≦0.7B-b或0.3B≦B1≦0.7B-b。4.如申请专利范围第1,2或3项所记载之静压型无接触气体封闭器,其中将静压产生沟的沟深L设定为:0.3-1.0mm。5.如申请专利范围第2或3项所记载之静压型无接触气体封闭器,其中将静止侧密封端面的径方向之静压产生沟彼此间的间隔设定为:与静压产生沟的构宽相同尺寸。6.如申请专利范围第1,2或3项所记载之静压型无接触气体封闭器,其中导入至静压产生沟的密封气体的压力,系比被密封流体领域的压力高出0.5-1.5bar。7.如申请专利范围第1,2或3项所记载之静压型无接触气体封闭器,其中供以阻止藉由导入至第二密闭空间的被密封流体的压力来往第三O型环的旋转密封环方向移动之第三O型环卡止部系形成于静止密封环或壳体内筒部,且与将该第三O型环卡止部形成于静止密封环时之第三O型环的内周部接触之密封壳体部分的直径,或与将该第三O型环卡止部形成于壳体内筒部时之第三O型环的外周部接触之静止密封环部分的直径Dm,密封端面的内径D1及外径D2间所被特定之平衡比K,系以能够形成0.8≦K≦0.9之方式来设定为:K=((D2)2-(Dm)2)/((D2)2-(D1)2)。图式简单说明:第一图系表示本发明之静压型无接触气体封闭器的一例之半截的纵剖侧面图。第二图系表示于周方向上与第一图不同处之静压型无接触气体封闭器之半截的纵剖侧面图。第三图系表示第一图之要部扩大详细图。第四图系表示静压型无接触气体封闭器之静止密封环的密封端面之正面图。第五图系表示本发明之静压型无接触气体封闭器的变形例之相当于第三图的纵剖侧面图。第六图系表示本发明之静压型无接触气体封闭器的其他变形例之相当于第三图的纵剖侧面图。第七图系表示本发明之静压型无接触气体封闭器的平衡比与穴压(静压产生沟内之密封气体的压力)及机内压力(被密封流体领域的压力)之关系图。第八图系表示习知之封闭器之半截的纵剖侧面图。 |
