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发明名称
摘要
申请公布号	JPH06103663(B2)	申请公布日期	1994.12.14
申请号	JP19870010027	申请日期	1987.01.21
申请人		发明人
分类号	H01L21/302;H01L21/027;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/027	主分类号	H01L21/302
代理机构		代理人
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