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发明名称 ARBITRARILY WIDE LENS ARRAY WITH AN IMAGE FIELD TO SPAN THE WIDTH OF A SUBSTRATE
摘要
申请公布号 EP0809814(A1) 申请公布日期 1997.12.03
申请号 EP19960906433 申请日期 1996.02.12
申请人 ULTRATECH STEPPER INC. 发明人 MARKLE, DAVID, A.
分类号 G02B3/00;G02B13/26;G02B17/08;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G02B17/00 主分类号 G02B3/00
代理机构 代理人
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