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发明名称 SCANNING CAPACITANCE TYPE MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH1130622(A) 申请公布日期 1999.02.02
申请号 JP19970186663 申请日期 1997.07.11
申请人 NIKON CORP 发明人 YAMAMOTO TAKUMA
分类号 G01B7/34;G01N37/00;G01Q60/00;G01Q60/46;(IPC1-7):G01N37/00 主分类号 G01B7/34
代理机构 代理人
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