发明名称
摘要
申请公布号 JP3069576(B2) 申请公布日期 2000.07.24
申请号 JP19900130438 申请日期 1990.05.22
申请人 发明人
分类号 C23C14/35;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/35 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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