测试半导体器件的方法和设备

摘要

利用微小相位差的多相位选通脉冲使从在测试中的半导体器件输出的数据和从那里输出的参考时钟与被取样的数据相同步。从取样输出中获得输出数据和参考时钟的变化点的相位,然后测量它们之间的相位差,并检验相位差是否落入预定范围内,从而在通过/故障的基础上评估在测试中的半导体器件。

主权项

1、一种半导体器件测试方法，该方法通过获得在测试中的半导体器件输出数据的变化点和与所述输出数据同步输出的参考时钟的变化点之间的相位差评估在测试中的半导体器件，所述方法包括以下步骤：产生相对于每个测试周期的预定相位位置彼此具有微小相移的多相位选通脉冲；利用所述多相位选通脉冲取样所述参考时钟；检测来自所述取样输出的参考时钟的变化点的相位。