摘要 |
<p>Generador de plasma microfabricado (1, 101) que comprende: un chip de sustrato (2, 102); una cámara (3, 103) definida por el chip de sustrato, comprendiendo la cámara un orificio de entrada (23, 123), a través del cual se suministra el analito en uso, un orificio de salida (25, 125) y una zona de generación de plasma (4, 104) en la que se genera un plasma en condiciones de uso; y unos primero y segundo electrodos (30, 32, 130, 132) a través de los cuales se aplica una tensión en uso para generar un plasma entre ellos en la zona de generación de plasma.</p> |