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发明名称 PROCESS FOR PRODUCING GROUP III NITRIDE COMPOUND SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 EP1479795(A4) 申请公布日期 2006.12.20
申请号 EP20030707019 申请日期 2003.02.24
申请人 TOYODA GOSEI CO., LTD. 发明人 NISHIJIMA, KAZUKI;SENDA, MASANOBU;CHIYO, TOSHIAKI;ITO, JUN;SHIBATA, NAOKI;HAYASHI, TOSHIMASA
分类号 C30B29/38;C30B25/02;C30B25/18;C30B29/40;H01L21/20;H01L21/205;H01L33/12;H01L33/16;H01L33/32;(IPC1-7):C30B29/38;H01L33/00 主分类号 C30B29/38
代理机构 代理人
主权项
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