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发明名称 Verfahren zum Ausbilden einer integrierten Speicherschaltungsanordnung
摘要
申请公布号 DE10223748(B4) 申请公布日期 2008.04.24
申请号 DE20021023748 申请日期 2002.05.28
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO. LTD. 发明人 YANG, WON-SUK;KIM, KI-NAM
分类号 H01L21/768;H01L21/8239;H01L21/60;H01L21/8234;H01L21/8242;H01L27/088;H01L27/105;H01L27/108 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
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