走査型プローブ顕微鏡

摘要

走査型プローブ顕微鏡のプローブ顕微鏡ヘッド１０は、カンチレバーチップ１を互いに直交するＸ軸とＹ軸とＺ軸に沿って走査する走査機構１１と、液体に接触して配置される光学透過板２０を備えている。光学透過板２０は、カンチレバーチップ１のカンチレバーの変位を検出するための検出光を透過し、走査機構１１によって走査されない。