| 发明名称 |
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB8413170(D0) |
申请公布日期 |
1984.06.27 |
| 申请号 |
GB19840013170 |
申请日期 |
1984.05.23 |
| 申请人 |
BRITISH TELECOMMUNICATIONS |
发明人 |
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| 分类号 |
H01L21/302;G02F1/025;H01L21/027;H01L21/263;H01L21/28;H01L21/3065;H01S5/00;H01S5/042;(IPC1-7):H01L21/263 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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