发明名称 DRY ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPH04326726(A) 申请公布日期 1992.11.16
申请号 JP19910123029 申请日期 1991.04.26
申请人 SONY CORP 发明人 TATSUMI TETSUYA
分类号 H01L21/302;H01J37/32;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/3213 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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