Apparatus and method for coating the inside of a hollow object by microwave-assisted plasma CVD.

摘要

Mikrowellen-Plasmaverfahren zum Niederschlagen einer Schicht aus einem vorgegebenen Material auf der Innenwand eines länglichen Hohlraumes (12), bei welchem in den Hohlraum eine die dampfförmige Verbindung enthaltende Atmosphäre eingeleitet wird, in das erste Ende des Hohlraumes Mikrowellenenergie eingespeist wird (14), die sich längs des Inneren des Hohlraumes ausbreitet, am zweiten Ende des Hohlkörpers ein stationäres Magnetfeld (32) oder eine örtliche Überhöhung der elektrischen Feldstärke erzeugt werden, so daß dort eine Niederdruck-Gasentladung entsteht, und daß man ausgehend von der Niederdruckentladung eine Ionisierungsfront durch den Hohlraum (12) zu seinem ersten Ende laufen läßt, die Einspeisung der Mikrowellen in das erste Ende unterbricht und diesen Vorgang so oft wiederholt bis eine gewünschte Dicke der Beschichtung erreicht ist. <IMAGE>