发明名称 Procédé de dépôt d'un matériau sous forme de couches monomoléculaires.
摘要 L'invention concerne un procédé pour déposer sous vide une couche monomoléculaire sur une surface, cette couche monomoléculaire comportant au moins un élément choisi dans les groupes IIa, IIIA, IVa, VIIIA, Ib, IIb, IIIB, Vb de la classification périodique des éléments, ledit procédé comportant les étapes de chauffer ladite surface à une température prédéterminée (T) et de faire évaporer sous vide au moins l'élément susmentionné pour le faire déposer sur la surface réceptrice. <BR/> Selon l'invention, la température prédéterminée de la surface réceptrice est inférieure à 600degré C, le flux atomique total du ou des éléments arrivant sur ladite surface réceptrice est compris entre 101 2 et 101 5 atomes/cm2 .s, et on surveille en temps réel la formation de la couche monomoléculaire, l'évaporation de l'élément étant arrêtée lorsqu'on détecte la formation complète de la couche monomoléculaire.
申请公布号 FR2712308(A1) 申请公布日期 1995.05.19
申请号 FR19930013511 申请日期 1993.11.12
申请人 LAGUES MICHEL JEAN ROBERT 发明人 LAGUES MICHEL, JEAN, ROBERT
分类号 C23C14/24;C30B23/02;C30B23/08;C30B29/22;(IPC1-7):C23C14/24;C23C14/06;H01L39/24 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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