发明名称 Bauteil-Isolierverfahren für Halbleiterbauteil
摘要
申请公布号 DE19603108(A1) 申请公布日期 1997.02.13
申请号 DE1996103108 申请日期 1996.01.29
申请人 LG SEMICON CO., LTD., CHEONGJU, KR 发明人 LEE, CHANG-JAE, CHEONGJU, KR
分类号 H01L21/76;H01L21/762;H01L21/763;H01L27/08;H01L27/092;(IPC1-7):H01L21/762;H01L21/316 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
地址