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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11154677(A) 申请公布日期 1999.06.08
申请号 JP19970319707 申请日期 1997.11.20
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 IGARASHI HIROFUMI
分类号 H01L21/3205;H01L21/304;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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